Profilomètre 2D
3D
sans contact
Profilomètre 2D 3D sans contact
HYPERION
Le
système de mesure HYPERION est un appareil permettant la mesure sans
contact de différentes topographies d’échantillons. La dynamique des
structures verticales mesurées peut atteindre 1,5 mm avec une résolution
de 10nm. L’ensemble est
composé de deux étages de déplacement X et Y avec moteurs pas à pas équipés
d’encodeurs optiques assurant une précision d’environ 0,5 µm et
d’un étage en Z manuel (pouvant être motorisé en option). Différents
étages X et Y sont disponibles jusqu’à 200mm de balayage.
Différents capteurs (AF16,
KF3, KFTele et C1)
peuvent être aisément installés sur le système HYPERION le
rendant ainsi ouvert à toutes les applications.
Capteur
Autofocus AF16
Capteur
basé sur le principe optique de la détection astigmatique Dynamique Z de
1,5 mm, résolution 10 nm
Capteur
Confocal KF3 et KF3Tele
Capteur
basé sur le principe de la détection du maximum de densité de lumière
provenant de l’échantillon. Dynamique Z de 1mm, résolution 20 nm
Capteur
lumière blanche C1
Capteur basé sur le principe de l’évaluation spectroscopique de la longueur d’onde dominante. Dynamique Z de 300 µm, résolution 25 nm
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