PHI 700
Spectroscopie d’électrons Auger
AES
Etude des surfaces et couches minces
AES / Auger / Surfaces / Interfaces / couches minces / Analyse élémentaire / Etat chimique / Profils/ Cartographies...
-Canon à émission de champ et colonne assurant une résolution en électrons secondaires de 6 nm avec l’échantillon en position analytique
-Résolution Auger de 8 nm
-Excellente isolation vibratoire et thermique garantissant une plateforme d’imagerie stable à un grandissement de X 500 000
-Géométrie coaxiale de l’analyseur (CMA breveté) garantissant la sensibilité quelque soit la géométrie de l’échantillon sans risque d’« ombrage »
-Faisceau d’ions basse énergie pour assurer la neutralisation de charge
-Capacités d’érosion pour profils en profondeur paramétrables en énergie (100 eV à 5 keV) suivant la finesse des structures à étudier
-Compensation de rotation Zalar
-Interface utilisateur PHI SmartSoft très conviviale rassemblant sur une fenêtre plein écran unique : introduction et déplacement de l’échantillon, imagerie électronique, acquisition de données, condition d’érosion
-Ensemble de logiciels
PHI Multipak pour l’analyse live ou post acquisition des données,
définition de routines d’analyses…
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