PHI TRIFT V nanoTOF TM
TOF-SIMS
Etude des surfaces et couches minces
TOF-SIMS / Surfaces / Couches minces / Détection de traces métalliques / Identification de contaminations organiques / Imagerie de variétés moléculaires / Profils...
-Spectromètre de masse à temps de vol utilisant 3 analyseurs électrostatiques hémisphériques, parcours de vol nominal 2m
-Platine 5 axes avec auto-Z pour ajustement en hauteur, support d’échantillons 100 x 100 mm, hauteur max 20 mm
-Système de pompage UHV par pompe turbo moléculaire 340 l/s
-Système de compensation de charge par double faisceau à mise œuvre simplifiée
-Chambre d’analyse évolutive pouvant accueillir jusqu’à 4 sources ioniques
-Canons à cluster LMIG (Ga ou Au) optimisés
-Canon à ions C60
-Canon 133 Cs
-Canon gaz (Ar/02)
-Vues de l’échantillon par microscope optique et caméra CCD
-Logiciel WinCadenceTM pour suivre en temps réel image, spectre de masse, données du profil en profondeur…
-Diverses
options dont : platine chauffage/ refroidissement, chambre de
préparation
Fondis Electronic
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