TOF-SIMS - PHI TRIFT V nanoTOF
TOF-SIMS:
Spectromètre de masse à temps de vol utilisant 3 analyseurs électrostatiques hémisphériques, parcours de vol nominal 2m
Platine 5 axes avec auto-Z pour ajustement en hauteur, support d’échantillons 100 x 100 mm, hauteur max 20 mm
Système de pompage UHV par pompe turbo moléculaire 340 l/s
Système de compensation de charge par double faisceau à mise œuvre simplifiée
Chambre d’analyse évolutive pouvant accueillir jusqu’à 4 sources ioniques
Canons à cluster LMIG (Ga ou Au) optimisés
Canon à ions C60
Canon 133 Cs
Canon gaz (Ar/02)
Vues de l’échantillon par microscope optique et caméra CCD
Logiciel WinCadenceTM pour suivre en temps réel image, spectre de masse, données du profil en profondeur…
Diverses options dont : platine chauffage/ refroidissement, chambre de préparation
