Spectroscopie d’électrons Auger - PHI 700
Spectroscopie d’électrons Auger AES, Etude des surfaces et couches minces
TOF-SIMS - PHI TRIFT V nanoTOF
Etude des surfaces et couches minces
Microsonde X à balayage - PHI QUANTERA
PHI QUANTERA - Microsonde X à balayage pour l'etude des surfaces et couches minces.
XPS/ESCA