Microsonde X à balayage - PHI QUANTERA

Nous consulter

  • Microsonde X avec une résolution spatiale < 9 µm
  • Système de balayage de rayons X breveté donnant un environnement type MEB pour l’analyse XPS de micro aires
  • Diamètre du faisceau de rayons X ajustable de 9 µm à 200 µm
  • Image en électrons secondaires induite par le balayage des rayons X
  • Capacités d’érosions optimisées pour l’étude des profils en profondeur que ce soit pour les couches ultra minces ou les films plus épais
  • Neutralisation de charge par double faisceau
  • Manipulation robotisée de l’échantillon
  • Echantillons pouvant aller jusqu’à un diamètre max. de 100 mm et une hauteur de 25 mm
  • 2 positions internes de stockage d’échantillons
  • Mode prise de vue rapide en analyse de profil
  • Cartographie quantitative d’états chimiques
  • Ensemble de logiciels PHI Multipak pour l’analyse live ou post acquisition des données, définition de routines d’analyses, éditions de rapports…
  • Diverses options dont : station de positionnement d’échantillon, platine chauffage/ refroidissement, canon C60 pour l’érosion